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              硅晶圓行業超純水設備

              硅晶圓行業超純水設備

                  1、進水水質: 市政自來水/地下水

                  2、產水水質: 18MΩ

                  3、產水流量: 100m3/h

                  4、所需電源: 穩定電源380V 50HZ

                  5、占地面積: 根據產水量設計

                項目設計說明:

                1、純水系統主要包括預處理系統、RO系統、EDI系統、拋光處理系統以及遠程控制系統、監控系統、水量計量系統和其他輔助系統。

                2、采用中央監控系統控制純水系統的運行操作,控制模式采用PLC+上位機,采用CPU和服務器無縫冗余。

                3、不使用國家明令禁止的產品;對化學品的使用應有泄露應急措施。

                4、各級設備應具有余量、備用。

                5、系統自動運行,同時也可以切換為手動。

                6、采用節約用能設計。

                7、超純水泵、EDI增壓泵、RO高壓泵、UF反洗泵、RO供給水泵采用變頻器控制。

                8、原水直接來源于業主自行建設的水箱,不再單獨建設原水箱。

                工藝流程:

              硅晶源行業超純水設備

                硅晶圓行業超純水設備詳細介紹

                1、預處理系統:預處理系統作為反滲透的前處理,主要目的是去除原水中的懸浮物、膠體、色度、濁度、有機物、硬度等妨礙后續反滲透運行的雜質。

                2、反滲透系統:反滲透系統承擔了主要的脫鹽任務。

                3、精處理系統:精處理系統主要功能是為了進一步除鹽和去除水中的殘余的TOC、溶解氧等。

                4、機臺弱電系統:由UPS供電,可切換市電和電池逆變兩種供電模式,額定功率滿足控制系統負荷要求,切斷電源獨立負載控制系統時續航時間不小于30分鐘,電池質保期3年以上。

              硅晶源行業超純水設備

                設計優勢:

                1、降低能耗,減少化學藥品的使用量,綜合成本低。

                2、各個自動運行程序的工藝參數、控制參數可以在線設定。

                3、自動報警系統可分析各類故障并發出警報,顯示故障點和故障狀態。

                4、整體設備運行穩定、自動化程度高、無需人工操作。

                5、安裝殺菌消毒系統,確保出水水質不受二次污染。

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